產品服務
1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋層等外延
2、外延片直徑:76、100、125、150、200 mm
3、月生產能力10萬片以上(6英寸外延片)
4、10級潔凈廠房
5、外延爐:
LPE3061
LPE2061s
CSD EpiPro 5000
ASM Epsilon2000
Rexon 2
6、硅源:
三氯氫硅
二氯氫硅
硅烷
7、摻雜源:
B2H6
PH3
AsH3
8、生長模式:
常壓
減壓
9、客戶特定參數